美国联邦标准Fed-Std-209E制定的洁净度等级（1992年）
Cleanliness Classes by U.S FED-STD-209E
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| 粒径大小 |
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5μm |
| 微粒子数 |
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个/m3 |
个/ft3 |
个/m3 |
个/ft3 |
个/m3 |
个/ft3 |
个/m3 |
个/ft3 |
个/m3 |
个/ft3 |
| SI制级 |
英制级 |
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| M1 |
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350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
|
|
| M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
|
|
| M2 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
|
|
| M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
|
|
| M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
|
|
| M3.5 |
100 |
|
|
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
|
|
| M4 |
|
|
|
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
|
|
| M4.5 |
1000 |
|
|
|
|
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|
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
|
|
|
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100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
| M5.5 |
10000 |
|
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|
|
|
|
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
| M6 |
|
|
|
|
|
|
|
1000000 |
28300 |
6180 |
170 |
| M6.5 |
100000 |
|
|
|
|
|
|
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
| M7 |
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|
|
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|
|
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
|
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