洁净度等级标准
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）
| 空气洁净度等级（N） | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） | |||||
| 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | 5 um | |
| ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
| ISO Class 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| ISO Class 7 | 352 000 | 83 200 | 2 930 | |||
| ISO Class 8 | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | |||
| ISO Class 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | |||
| 注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 | ||||||
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）
| 粒径、数值洁净度级别 | 尘埃最大允许数/立方米 | 微生物最大允许数 | ||
| ≥0.5um | ≥5um | 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 | |
| 100 级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000 级 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100,000 级 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300,000 级 | 10,500,000 | 60,000 | — | 15 |
美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）
| 空气洁净度等级（N） | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） | ||||
| 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 5 um | |
| 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | |
| 100 | 750 | 300 | 100 | ||
| 1000 | 1000 | 7 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | |||
| 100000 | 10000 | 700 | |||
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：
| 空气洁净度等级（N） | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） | ||||
| 0.3um | 0.5um | 5um | 10um | 25 um | |
| C | 100 | 35 | 0 | ||
| D | 1000 | 350 | 0 | ||
| E | 10000 | 3500 | 0 | ||
| F | 3500 | 0 | |||
| G | 100000 | 35000 | 200 | 0 | |
| H | 35000 | 200 | 0 | ||
| J | 350000 | 2000 | 450 | 0 | |
| K | 3500000 | 20000 | 4500 | 500 | |
| L | 200000 | 45000 | 5000 | ||
| M | 450000 | 50000 | |||
各种国际标准的比较：
| 美国联邦 | 美国联邦 | 英国标准 | 澳大利亚标准 | 法国标准 | 德国标准 | 国际标准 | 日本标准 |
| 标准 209D | 标准 209E | BS5295 | AS1386 | AFNORX44101 | VDI2083 | 14644-1 | JACA24 |
| 1 | 1 | ||||||
| — | 0 | 2 | 2 | ||||
| 1 | M1.5 | C | 0.035 | — | 1 | 3 | 3 |
| 10 | M2.5 | D | 0.35 | — | 2 | 4 | 4 |
| 100 | M3.5 | E | 3.5 | 4000 | 3 | 5 | 5 |
| 1000 | M4.5 | G | 35 | — | 4 | 6 | 6 |
| 10000 | M5.5 | J | 350 | 400000 | 5 | 7 | 7 |
| 100000 | M6.5 | K | 3500 | 4000000 | 6 | 8 | 8 |
| M | 7 | 9 | — |
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